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11月17日，盛好意思上海(688082)晓示，已向起初的面板制造客户得手委派首台面板级先进封装电镀修复Ultra ECP ap-p。
据先容，Ultra ECP ap-p是面向大面板阛阓的首台商用面板级铜电镀系统，解救凸柱、凸块和再分辩层（RDL）工艺中的电镀措施。该系统达成了可与传统圆形晶圆工艺相比好意思的面板处感性能，使制造商粗略愈加高效地满足严苛的器件条目。
盛好意思上海总司理王坚示意：“得手委派Ultra ECP ap-p订单彰显了凭借相反化翻新，咱们有才调提供高性能面板电镀处分决策，以匡助客户加快鼓舞扇出型面板级封装时代蓝图，同期寂静咱们在先进封装生态体系里的进犯地位。跟着阛阓对新一代器件需求的增长，面板级封装提供了大限制坐褥所需的可延长性、产能和资本上风，这将达成业界从300毫米晶圆封装到面板级封装的无缝过渡。”
据了解，该系统遴选ACM专利肯求保护的水平电镀时代，并解救铜、镍、锡银及金等多材质电镀工艺。其中，铜电镀腔体配备了专为高凸柱诈欺筹备的高速电镀桨叶，粗略达成起初300微米的凸柱高度。Ultra ECP ap-p修复遴选四边密封干式讲和卡盘以升迁可靠性，配备电镀腔内清洗功能以最大收场减少不同电镀腔之间的化学交叉欺侮，并遴选水平电镀筹备——通过同步旋转卡盘与旋转矩形电场达成特等的膜厚均匀性。
盛好意思上海是一家为半导体前谈和先进晶圆级封装诈欺提供晶圆工艺处分决策的供应商。凭借丰富的时代和工艺蕴蓄，公司变成了平台化的半导体工艺修复布局，包括清洗修复、半导体电镀修复、立式炉管系列修复、前谈涂胶显影Track修复、等离子体增强化学气相千里积PECVD修复、无应力抛光修复、面板级先进封装修复、后谈先进封装工艺修复以及硅材料衬底制造工艺修复等。
除了本次的Ultra ECP ap-p天元证券官网 - 新手股票杠杆开户_线上炒股官网配资注册，盛好意思上海在本年9月还晓示推出首款KrF工艺前谈涂胶显影修复Ultra LithKrF，旨在解救半导体前端制造。首台修复系统已于9月委派中国头部逻辑晶圆厂客户。
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